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SEM サポーター

概要

SEM サポーターはサンプルを観察する時の作成、画像解析といったルーティンワークを効率よく行う為のソフトウエアです。


特徴

座標リンク

         
  1. 光学顕微鏡で撮影された画像を使ってステージを移動する事ができます。
  2.      
  3. 光学顕微鏡に取り付けたビデオ映像のキャプチャ機能を装備しています。

モンタージュ

  1. 位置ずれオート補正
  2.   
    • 高倍率のSEM像を格子状に撮影し、つなぎ合わせて表示する事ができます。
    •   
    • 連続撮影時に画像の重なり領域を設ける事によって画像の位置ずれを計算し補正を行います。これにより精度の高い観察領域全体画像の生成ができるようになりました。
  3. 撮影フロー
  4.   
    • 低倍率画像は複数の組み合わせができます。
    •   
    • 観察領域は複数の登録ができます。
    •   
    • 撮影時、撮影終了予定時間が表示されます。
  5. ステージ回転サポート
  6.   
    • 画像上で指定した直線が水平/垂直になるようにステージを回転することができます。
  7. 観察領域全体画像の表示/保存
  8.   
    • 連続撮影後、観察領域全体画像を自動的に作成します。また個々の撮影画像も保持されます。
    •   
    • 撮影領域全体を表示ツールにて確認することができます。
    •   
    • 全体像を画像ファイルとして保存することができます。
  9. レビューサポート
  10.   
    • 観察領域全体画像より撮影毎の画像を選択することができます。撮影条件も表示されます。
    •   
    • ステージ位置を撮影時の位置に移動することができます。
  11. マウス操作
  12.   
    • マウスのスクロールボタンを操作することにより、ズームアップ/ズームダウンがスムーズに動作できます。
    •   
    • ズームアップ後の表示位置移動も滑らかに表示することができます。
  13. 表示関連
  14.   
    • ミニマップで現在表示中の位置を確認することができます。
    •   
    • ミクロンバーを表示することができます。

ウェハ定点観察

      
  1. 観察位置をチップ毎に登録することができます。
  2.   
  3. 観察点を自動的に連続で撮影します。
  4.   
  5. 観察位置を保存することによってサンプルレビューを簡単に再現できます。
  6.   
  7. サンプルを交換してもアライメント機能により撮影位置を再計算します。

ウェハ欠陥検査レビュー

      
  1. 欠陥検査装置の結果ファイルに対応しています。
  2.   
  3. リモートホスト上のファイルを直接オープンすることができます。

欠陥検査レビュー

  1. アライメント
  2.   
    • チップアライメントの登録ができます。
    •   
    • 欠陥点毎のオフセット登録ができます。
  3. 欠陥リスト
  4.   
    • 欠陥検査結果ファイルに登録されている欠陥点を一覧表示できます。
    •   
    • 任意の欠陥点へステージを移動することができます。
    •   
    • 欠陥属性によるソーティング、フィルタリングを実装しています。
  5. 連続撮影&画像転送
  6.   
    • 欠陥点を連続で自動撮影します。
    •   
    • 撮影画像を一括でYMSに転送します。

連携アプリケーション

ImageExcite -測長ソフトウェア-

      
  • 弊社、測長ソフトと組み合わせることによって撮影と同時に測長を行うことができます。
  •   
  • 測長位置は任意の位置をマクロとして記録することができます。

Region Adviser -粒子解析-

      
  • 弊社、粒子解析ソフトを組み合わせることによって撮影と同時に粒子解析を行うことができます。

仕様

対応機種:

  • 日本電子社製走査電子顕微鏡 FE-SEM (JSM-7000シリーズ)
  • 日本電子社製走査電子顕微鏡 MPシリーズ

  • カタログのダウンロード

    PDF SemSupporter.pdf

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